Ehrung

Masao Horiba Preis für Dr. Tsankov

Masao Horiba Prize

Der Masao Horiba Preis wird seit 15 Jahren jährlich an Wissenschaftler und technische Experten verliehen, um weltweit führende Ideen und Innovationen im Bereich diagnostischer Methoden zu würdigen. Das spezifische Thema wird jedes Jahr aus den von der HORIBA Gruppe geförderten/repräsentierten Bereichen ausgewählt. Das Thema des diesjährigen Preises war "Fortschrittliche analytische Messtechniken für den Halbleiterherstellungsprozess". Halbleitertechnologien bilden die Grundlage der heutigen Gesellschaft. Um die stetige Entwicklung voranzutreiben, benötigen viele Unternehmen der Branche neue Innovationen - nicht nur bei der Herstellung von Materialien, sondern auch bei der Steuerung und Beobachtung von Produktionsprozessen, z. B. durch neue Diagnoseverfahren.

Eine Jury aus etablierten Wissenschaftlern und Vertretern der HORIBA Gruppe wählte die Preisträger aus. Unter ihnen wurde Dr. Tsanko Vaskov Tsankov vom Lehrstuhl für Plasma- und Atomphysik, Fakultät für Physik und Astronomie, besonders ausgezeichnet. Dr. Tsankov hat eine Plasmadiagnose-Methode entwickelt, die die nicht-invasive Bestimmung von Plasmaparametern ermöglicht. Der Preis wird bei einer Zeremonie im Oktober an der Universität Kyoto verliehen. Dr. Tsankov wurde von der HORIBA-Gruppe für seine Arbeit "Non-invasive plasma characterization using the ion velocity distribution function" ausgezeichnet.

Mehr über den Preis und die Preisträger können Sie hier erfahren.